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部件
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组成及规格
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真空室
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数目
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单室结构
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材料
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304不锈钢
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形式
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圆筒立式结构
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尺寸
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F350×H350(可根据需要适当调整)
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顶盖密封
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氟橡胶密封。
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接管类型
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包含两个真空规管接口、若干磁控溅射靶接口、一个高真空阀门接口、一个预抽管道接口、一个观察窗接口、三个充气阀门接口、三个操作机构接口以及两个电气引入接口等。
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开启方式
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上盖开启、顶盖升降装置。
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照明/烘烤
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采用碘钨灯照明、2只1000W碘钨灯烘烤、烘烤温度200℃以内。
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真空获得系统
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主泵
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分子泵（KYKY620L/S）一台。
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预抽泵
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6L旋片式机械泵一台。
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前级泵
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阀门
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①高真空阀门采用超高真空（CF150一只）；②预抽阀门采用超高真空角阀（GD-J40一只）；③放气阀门采用超高真空截止阀（GQ-4三只）。
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电磁充气阀两只。
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管道/接头
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精密不锈钢管、压波纹管构成、快卸接头以及双卡套接头一批。
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真空测量系统
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复合真空计（1×10 ~1×10 Pa），规管采用全金属裸规（ZJ-52+ZJ2）
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PECVD系统
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电极
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采用平板式电极、下电极具有四次匀气装置、上电极高度可调。
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射频电源
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RF0.5kW电源一台（选配自动匹配）。
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上电极
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多层匀气进气，尺寸为F150mm
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下电极
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旋转加热，室温-600℃（可控可调，温差£3℃,尺寸为F100mm
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控制系统
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采用触摸屏+PLC控
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水冷却系统
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真空系统冷却
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分子泵冷却
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靶材冷却
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自带有冷却水管；无冷却水或冷却水压力不足时，水压继电器断开，并切断靶材电源，从而防止靶材过热。
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基片架冷却
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冷却水冷却。
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气体输送系统
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输送方式
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通过真空室壁上的气体管道及充气阀。
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气体控制
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三路MFC（型号D08-3B一台），流量控制器（D07-7B两只）
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机架
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结构
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铝型材框架。L1000×W500×H1000。
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通过认证
